1048 wurde die Mark Herborn urkundlich erwähnt.

Anfang 13.Jhdt. war Herborn im Besitz des Gf. v. Nassau. Die Grenzburg Herborn am Knotenpunkt wichtiger Straßen wurde bald nach Beginn der Dernbacher Fehde zerstört. Die Burg mag damals nur eine Turmhügelburg mit einen Graben zu Sicherung gewesen sein. 1240 wurde eine strategisch günstigere Stelle gewählt die Dillenburg wurde errichtet.

1251 erhielt Gf. Otto und Walram v. Nassau Stadtrechte und für die Ansiedlung Herbornm um den Ort zu befestigen zu können und gleichzeitig wurde die Burg erneuert.

Seit 1305 hessisches Lehen der Grafen v. Nassau *²

1307 / 1312 wurde die Burg erstmalig urkundlich genannt. Sie war Amtssitz und mit Burgmannen besetzt und wurde später schloßartig umgebaut.

1584 gründete Gf. Johann VI. v. Nassau-Dillenburg die "Hohe Schule" (ev. theol. Universität) in Herborn, die anfänglich im Schloß untergebracht war.

16.-18.Jhdt. war es zeitweilig gräflicher Witwensitz.

Ab 1806 verwahrloste das Schloß.

Seit 1869 ist es der Sitz für theologische Seminare und die Tradition der theologischen Fakultät der früheren Hohen Schule wird noch bis heute fortgeführt.

1929-31 umfassend restauriert und innen völlig erneuert.*²